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SHL(三和联)离子束刻蚀机应用方向

时间:2025-04-01     作者:三和联-半导体设备专家【原创】

SHL(三和联)离子束刻蚀机应用方向


1.半导体制造

离子束刻蚀是半导体制造中最重要的工艺之一,用于制造微处理器、存储器、传感器等器件。

2.光电子学

离子束刻蚀可用于制造光学元件,如光栅、衍射光栅、光波导等


SHL(三和联)离子束刻蚀机应用方向



3.微机电系统(MEMS)

离子束刻蚀可用于制造微机电系统中的微结构,如微机械臂、微流体芯片等。

4.纳米技术

离子束刻蚀可用于制造纳米结构,如纳米线、纳米点等


北京三和联科技有限公司于2013年成立于北京,超过十年半导体设备研发经验。半导体设备是奠定半导体产业发展的基石,三和联为您提供高效稳定的半导体设备。





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