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Si基材料刻蚀
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Si基材料刻蚀

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                                           石英光栅以及纳米阵列

InP台.bmp  
InP.bmp  



                                           InP刻蚀（左高温，右常温）

石英光栅_1.png  
石英光栅_2.png  



                                           石英光栅

Si纳米光栅_1.png  
Si纳米光栅_2.png  



                                           Si纳米光栅

硅纳米柱_1.jpg  
硅纳米柱_2.jpg  



                                           Si纳米柱

金属陶瓷材料.jpg    

                                                        


                     金属陶瓷材料

有机膜.png    

                                                        


                          有机膜

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