SHL（三和联）离子束优势

作者： 三和联-半导体设备专家【原创】 2025-04-01

SHL（三和联）离子束优势

1.高精度

离子束刻蚀可以制备出高精度的微小结构，其加工精度可以达到亚纳米级别。这种高精度的加工能力使得离子束刻蚀在微纳加工领域中具有重要的应用价值。

2.高效率

离子束刻蚀可以在短时间内完成大面积的加工，其加工速度可以达到数百纳米/分钟。这种高效率的加工能力使得离子束刻蚀在大规模生产中具有重要的应用价值。

SHL（三和联）离子束优势

3.可控性强

离子束刻蚀可以通过调节离子束的能量、角度、流量等参数来控制加工过程，从而实现对加工结果的精确控制。这种可控性强的加工能力使得离子束刻蚀在微纳加工领域中具有广泛的应用前景。

4.适用性广

离子束刻蚀可以加工各种材料，包括金属、半导体、陶瓷、聚合物等。这种适用性广的加工能力使得离子束刻蚀在微纳加工领域中具有广泛的应用前景。

综上所述，离子束刻蚀具有高精度、高效率、可控性强、适用性广、无损加工等独特的优势，使得其在微纳加工领域中具有广泛的应用前景。

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