芯片去层的应用
2025-04-30
芯片去层的应用
芯片去层技术广泛应用于以下领域:
1. 失效分析:通过逐层去除芯片结构,定位故障点并分析失效原因。在实际案例中,通过热点分析和去层分析,可以在芯片的特定层(如CT层或SUB层)发现ESD损伤从而确定失效原因。
2. 逆向工程:解析芯片的电路设计和布线结构。逆向工程在法律框架内是被允许的,尤其是在通过合法途径获取产品并用于技术学习、改进或知识产权分析时。然而,未经授权复制或篡改产品可能涉及侵权行为。
3. 工艺优化:评估芯片制造工艺的质量,改进设计和制造流程。例如在去层过程中可以对不同材料(如金属、介质、钝化层)的特性进行评估。如铜互连工艺中,通过去层可以观察铜扩散阻挡层的效果,以及铜填充的均匀性。
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