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    反应离子刻蚀机台 (RIE)

    反应离子刻蚀机台 - Reactive Ion Etching - RIE

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  • 离子束刻蚀机台 (IBE)

    离子束刻蚀机台 (IBE)

    离子束刻蚀设备,物理刻蚀,IBE

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          2. 磁学应用; 

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  • 炉管式化学气相沉积机台 (TFCVD)

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    等离子体清洗机 (Plasma Cleaner)

    等离子体清洗机。多片式清洗机系列产品基于容性或感性耦合等离子体技术,为自主研发机台,具有 知识产权。适用于有机材料如光刻胶(PR),PMMA,HDMS等材料的去

主营产品

在不损害器件其他部分的情况下,我们的高选择性刻蚀工具能够在任何方向(各向同性)上去除材料...

材料刻蚀设备

根据使用需求,可以获得疏水或者亲水的效果;3-4 表面活性得到变化...

材料生长设备

采用单处理器(ADSP-BF607)+AD7606架构实现8通道电能质量在线监测的解决方案

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为您提供高端微纳材料加工设备

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北京三和联科技有限公司成立于2013年,公司坐落于中国首都北京。三和联面向研究所高校及创新型公司提供高端微纳材料加工设备。公司基于在真空、材料以及半导体设备方面的技术累计,向客户提供先进材料刻蚀、生长与表面处理设备及服务,提高客户技术水平、生产效率与竞争力;产品涵盖硅基材料、化合物半导体材料、以及二维薄膜材料应用方向。

三和联科技主营产品为半导体设备系列。包括:冷水机(Chiller)、物理气相沉积机台(PVD) 、反应离子刻蚀机台 (RIE) 、感应耦合等离子体刻蚀机台(ICP) 、离子束刻蚀机台 (IBE) 、炉管式化学气相沉积机台 (TFCVD) 、电容耦合等离子体增强化学气相沉积 (CCP-CVD) 、等离子体清洗机 (Plasma Cleaner) 及Compact - RIE Etcher 等。

三和联与国内多家大学及科研机构长期合作,自主研发、生产多类型半导体设备,为中国高端工业发展提供助力。经过多年发展,三和联产品以销往全球多个国家。

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